??(1) 氣壓/水壓泄漏測(cè)試?
?方法?:
將密封圈安裝在測(cè)試工裝中,施加規(guī)定壓力(通常為工作壓力的1.5倍),保壓一定時(shí)間后檢測(cè)壓降。
?氣壓測(cè)試?:常用0.2~1.0MPa,靈敏度高(可檢測(cè)0.1mL/min泄漏)。
?水壓測(cè)試?:更高壓力(如10MPa以上),需注意水錘效應(yīng)。
?標(biāo)準(zhǔn)?:
ISO 5208(工業(yè)閥門密封測(cè)試)、GB/T 13927(通用閥門壓力測(cè)試)。
??(2) 氦質(zhì)譜檢漏(超高靈敏度)??
?原理?:
在密封腔體內(nèi)充氦氣,用質(zhì)譜儀檢測(cè)氦分子泄漏率,精度達(dá)10?? Pa·m³/s。
?應(yīng)用?:
半導(dǎo)體設(shè)備、航天器密封等嚴(yán)苛場(chǎng)景(如NASA-STD-6012標(biāo)準(zhǔn))。
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